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電子行業用超純水處理工藝及方案
發布時間:2013-07-15        

一、電子行業高純水除鹽裝置應用范圍概述:

1、電解電容器生產鋁箔及工作件的清洗電子管生產 

2、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液顯像管和陰極射線管生產 

3、配料用純水黑白顯像管熒光屏生產 玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗用純水液晶顯示器的生產 屏面需用純水清洗和用純水配液晶體管生產中主要用于清洗硅片等。 

二、電子行業超純水工藝流程

◆典型工藝流程

預處理系統→反滲透系統→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水對象(≥18MΩ.CM)
◆傳統工藝流程

預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥18MΩ.CM)

◆最新工藝流程

1、預處理→一級反滲透→加藥機(PH調節)→中間水箱→第二級反滲透(正電荷反滲膜)→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥17MΩ.CM)

2、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水終端(≥15MΩ.CM)

 


        三、處理后水質標準

經過高純水除鹽設備后,出水水質可以滿足顯像管、液晶顯示器、集成電路用水標準。國家電子級純水標準、美國SEMI標準。

 

四、電子行業高純水設備特點

為滿足用戶生產工藝用水需求,達到符合標準的水質,盡可能地減少各級的污染,延長設備的使用壽命、降低操作人員的維護工作量。在工藝設計上,源水(市政自來水),經多介質過濾器,活性碳過濾器,鈉型陽離子軟化器、精密過濾器等預處理系統、RO反滲透主機系統、離子交換混床(EDI電除鹽系統)裝置等。系統中水箱均設有液位控制系統、水泵均設有壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無人職守,由PLC控制系統完成包括阻垢劑計量泵、高壓泵、電動慢開門的順序啟動和停止;停運時反滲透裝置的自動低壓沖洗;運行過程中低壓壓力開關與系統的連鎖運行;各轉動設備的運行監測和報警等。




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